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管理番号 物件名 型式 メーカー 年式 詳細 問合せ 000184  表面反応エピタキシ装置  I-2300SRE  アネルバ    HB0225  マスクアライナ  PLA501 manual type  キャノン  1987  DL0201  アライナー  PLA501FA  キャノン  1980  DL0202  アライナー  PLA501FA  キャノン  1984  E00091  スピンコーター  CDS-630  キャノン  1995  000163  ステッパー  FPA-2500i3  キャノン  1994  GD2501  SOGコーター  SC-W80A-AVG  大日本スクリーン  1996  43  スピンプロセッサー  SPW-812U  大日本スクリーン  1992  000169  Photostabilizer  M200PCU   FUSION    GF1004  レジストコーター  VC-8000  エムセテック  2001  GF1005  レジストデベロッパー  VD-8000  エムセテック  2001  HB0205  スピンコーター  MS-111  エムセテック  1993  HB0206  両面マスクアライナー  BS-7  ミカサ  1993  11  i線ステッパー  NSR2005i9C  ニコン    1x  ステッパー  NSR-1505i6A  ニコン    10  ステッパー  NSR2005i10C  ニコン    FK0214  ドライアシャー  RAM250HAS  RAMCO  1989  E00228  アライナー  MA150CC  ズースマイクロテック  1994  E00223  手動ボンドアライナー  ＳＵＳＳ　ＢＡ６／ＩＲ  ズースマイクロテック  2000  E0022401  サブストレートボンダーＳＢ6/トランスポート  ＳＵＳＳ　ＢＡ６  ズースマイクロテック  2001  E0022501  サブストレートボンダーＳＢ6/トランスポート  ＳＵＳＳ　ＢＡ６  ズースマイクロテック  2000  000166  SOGコーター  TR-8362SD  東京応化

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