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管理番号 物件名 型式 メーカー 年式 詳細 問合せ GI2318  P-CVD  AKT1600B  AKT    000108  スパッター  Endura 5500  AMAT  1999  45  スパッター  SPF-715  アネルバ  1993  E00103  プラズマCVD  PD-101  サムコ    HB0201  マルチチャンバプラズマＣＶＤ装置  PDM-303  サムコ  1994  000185  CVD  Trias  東京エレクトロン    DK3001  LP-CVD  CAESAR-LP-601-N  東京ハイテック    FK0201  LP-CVD  Ｖ5-100LC  アルバック  1996  FK0202  LP-CVD  Ｖ5-100LC  アルバック  1996  E00176  インターバックP-CVD装置  CIH-1010-5  アルバック  1992

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