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100402-F002  ドライエッチャー  Centura DPS  AMAT  2005.6 
100402-F003  ドライエッチャー  P5000E  AMAT  1994 
100402-F004  ドライエッチャー   P5000E  AMAT  1994 
100402-F005  ドライエッチャー  P5000E(W etch)  AMAT  1993-1994 
90203-JC0401  Dry Etcher(SiO/SiN)  P5000(SiO2/SiN)  AMAT   
110907-001  ポリエッチャー  Centura Poly Etcher  AMAT  1995 
A0195-016  ドライエッチャー  L-507D-L  アネルバ   
A0190-017  アッシャー  RAM-8500  KEM  2000 
120204-M-035  ポリシリコン膜エッチャー  Rainbow 4420  Lam RESEARCH  1993 
120204-M-036  ポリシリコン膜エッチャー  Rainbow 4420  Lam RESEARCH  1994 
120204-M-037  ポリシリコン膜エッチャー  Rainbow 4420  Lam RESEARCH  1994 
110907-004  ポリエッチャー  TCP9400SE  ラムリサーチ  1997 
100402-CA0023M  バッチアッシャー  RAM-250  Ramco  2001.7 
100504E-E160  コンパクトエッチャー  FA-1  サムコ   
110210-001  ドライエッチャー  TE8401   東京エレクトロン  2001 
110210-006  ドライエッチャー  TE8500S  東京エレクトロン  1994 
110210-008  ドライエッチャー  TE8600P  東京エレクトロン  1996 
120204-M-041  シリコン酸化膜エッチャー  UNITY Ⅱ e85DD  東京エレクトロン  2003 
120204-M-040  シリコン酸化膜エッチャー  TE-8500PE  東京エレクトロン  1997 
110504-001  Poly　エッチャー  Unity84TM HPC  東京エレクトロン  1996 
110504-002  SiN/SiO　エッチャー  Unity85DM  東京エレクトロン  1996 
110907-005  酸化膜エッチャー  TE-8500  東京エレクトロン  1993-1994 
100402-F006  UVキュア  UMA-1002-HC83SF  ウシオ電機  1991 
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