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No. Item Model Manufacture Vintage PDF Contact
A0190-014  塗布機  SCW-636-CV    1988 
90303-JD1501  コンタクト露光装置  PLA501FA     
90916-001  マスクアライナー  PLA600FA  キヤノン   
A0195-005  コンタクトアライナー  PLA501FA  キヤノン   
A0195-006  ミラープロジェクションマスクアライナー  MPA500FA  キヤノン   
A0190-013  現像機  SDW-628-BV  DNS  1986 
110907-003  ステッパー  NSR-2005i8A  ニコン  1998 
A0190-008  ステッパー  NSR-2205i12D  ニコン  1998 
A0195-004  ステッパー  NSR-TFH1  ニコン   
61204-1x  ステッパー  NSR-1505i6A  ニコン   
A0195-011  スパッター  ASP  昭和真空   
3616-E00228  アライナー  MA150CC  ズースマイクロテック  1994 
100101-001  コーターデベロッパー  Mark5  東京エレクトロン  1990.08 
100312-001  アッシャー  TCA7822S  東京応化   
A0070-001  両面スピンコーター  CS8152NA  東京応化  2008 
A0070-002  両面デベロッパー  CS8121D  東京応化  2008 
A0190-011  ステッパー  Saturn Spectrum 3  Ultratech  2000 
A0195-008  両面アライナー  PEM-1000  ユニオン光学   
91022-BT2016M  スピンドライヤー    日本エクセル   
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