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3616-E00228
アライナー
MA150CC
ズースマイクロテック
1994
-000249
アッシャー
TCA2400
東京応化
1989
100312-001
アッシャー
TCA7822S
東京応化
71111-IF0701
DeepUV露光装置
PLA501-FA
キヤノン
90515-JF1101
マスクアライナー
PLA600F
キャノン
1998
-000255
両面アライナー
EVG620/TBR
EVグループ
2009
60310-GF1004
レジストコーター
VC-8000
エムセテック
2001
90314-JC2602
スピンナー
IH-700C
ミカサ
2002
81102-IK1901
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1902
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1903
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1904
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1905
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1906
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1907
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1908
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1909
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1910
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1911
ステッパー
FPA2500i2
キヤノン
1992
81102-IK1912
ステッパー
FPA2500i3
キヤノン
1993
81208-KN06-2
ステッパー
NSR 1755i7A
ニコン
100402-004
ステッパー
NSR1505G6E
ニコン
61204-1x
ステッパー
NSR-1505i6A
ニコン
100402-002
ステッパー
NSR2005i9C
ニコン
A0070-001
両面スピンコーター
CS8152NA
東京応化工業
2008
A0070-002
両面デベロッパー
CS8121D
東京応化工業
2008
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