| DATE |
LINE NAME |
�EQUIPMENT |
Qty |
NOTE |
2000〜
2003 |
単一Line |
Sputter for ITO, Metal
In Line CVD
Exposure
Stepper |
25
5
26
15 |
中古設備設置・動作確認条件だし・操作説明 |
| 2003/05 |
P5 STN Line |
Front-End/Buck-End/Module |
|
中古Line設置・動作確認 |
| 2003/08 |
P1 STN Line
P3 STN Line
P4 STN Line |
Front-End/Buck-End/Module |
|
中古Line設置・動作確認
�条件だし・操作説明
�(一部Line改造） |
| 2003/08 |
TFT-Array Line |
Stepper
CVD
Sputter
Coater
Developer
Dry Etcher |
8
4
5
8
4
6 |
中古設備設置・動作確認条件だし・操作説明 |
| 2004/01 |
TFT-Cell Line |
Front-End |
|
中古Line設置・動作確認
条件だし・操作説明 |
| 2004/10 |
Color Filter Line |
R.G.B. BM Line
R.G.B. BM Line
OC Line |
|
新規中古混合Line製作 |
| 2004/12 |
C-STN Line |
Front-End/Buck-End/Module |
|
中古Line設置・動作確認
�条件だし・操作説明
�(一部Line改造） |
| 2005/01 |
Color Filter Line |
R.G.B.BM,OC 用
ダブルLine |
3 |
新規Line製作 |
| 2005/02 |
TFT-Cell Line |
TFT Cell Line
(Front-End) |
|
画像処理System導入 |
| 2005/03 |
Color Filter Line |
R.G.B, BM Line
R.G.B, BM Line
OC Line |
|
新規中古混合Line製作 |
| 2005/03 |
TFT-Array
製造設備 |
CVD
Coater
Aligner |
3 |
中古設備設置・動作確認条件だし・操作説明 |
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