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管理番号 物件名 型式 メーカー 年式 詳細 問合せ 000168  エッチング装置  Centura 5200  AMAT  1997  000186  エッチング装置  U-722  日立    FK0210  イオンミリング装置　　　　　　　　　  IML-3-1  日立  1993  FK0207  ドライエッチング装置　　　　　　　　  M-308AT  日立  1989  000170  エッチング装置  CDE74  芝浦  1996

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