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管理番号 物件名 型式 メーカー 年式 詳細 問合せ ED0101  拡散炉  AFH6-D  AFS  2005  000188  RTP  Radiance  AMAT    000189  縦型炉  A412  ASM    EL1501  N2雰囲気リフロー炉  ANUR525iN- 816  松下電工  2000  000165  拡散炉  AVP-8000  SVG  1997  HB0208  大型拡散炉  Brute XL  東京エレクトロン  1985  FA2404  拡散炉  VDF-615T  東京エレクトロン  1991  HB0202  パイロジェニック酸化装置  Brute Maxi  東京エレクトロン  1995  000187  Vertical Furnance  Alpha-303i  東京エレクトロン    DK3002  拡散炉  CAESAR-AP-800  東京ハイテック

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