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No. Item Model Manufacture Vintage PDF Contact
A0190-014  塗布機  SCW-636-CV    1988 
90303-JD1501  コンタクト露光装置  PLA501FA     
90916-001  マスクアライナー  PLA600FA  キヤノン   
A0195-005  コンタクトアライナー  PLA501FA  キヤノン   
A0195-006  ミラープロジェクションマスクアライナー  MPA500FA  キヤノン   
A0190-013  現像機  SDW-628-BV  DNS  1986 
120204-M-007  現像機  SDW-80A-BVPE  大日本スクリーン製造  1993 
120204-M-008  現像機  SDW-80A-BVPE  大日本スクリーン製造  1993 
120204-M-012  高粘度レジストコーター  SCW-80A-AVQ  大日本スクリーン製造  1992 
120204-M-002  レジストコーター  SKW-80A-BV  大日本スクリーン製造  2003 
120204-M-003  レジストコーター  SKW-80A-BV  大日本スクリーン製造  2003 
120204-M-016  ウエハーステッパ  NRS-2205i11C  ニコン  1995 
120204-M-017  ウエハーステッパ  NRS-2205i11C  ニコン  1995 
120204-M-018  ウエハーステッパ  NRS-2205i11C  ニコン  1995 
120204-M-019  ウエハーステッパ  NRS-2205i11D  ニコン  1996 
110907-003  ステッパー  NSR-2005i8A  ニコン  1998 
120204-M-013  ウエハーステッパ  NSR-2005i9C  ニコン  1994 
A0190-008  ステッパー  NSR-2205i12D  ニコン  1998 
120204-M-020  ウエハーステッパ  NSR-4425i  ニコン  1996 
A0195-004  ステッパー  NSR-TFH1  ニコン   
61204-1x  ステッパー  NSR-1505i6A  ニコン   
A0195-011  スパッター  ASP  昭和真空   
3616-E00228  アライナー  MA150CC  ズースマイクロテック  1994 
100101-001  コーターデベロッパー  Mark5  東京エレクトロン  1990.08 
120204-M-005  レジストコーター  CLEAN TRACK MARK-7  東京エレクトロン  1994 
100312-001  アッシャー  TCA7822S  東京応化   
A0070-001  両面スピンコーター  CS8152NA  東京応化  2008 
A0070-002  両面デベロッパー  CS8121D  東京応化  2008 
A0190-011  ステッパー  Saturn Spectrum 3  Ultratech  2000 
A0195-008  両面アライナー  PEM-1000  ユニオン光学   
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