CeeVeeTech

CVD、MOCVD、ALDの全ての液体・固体ソース化合物は、成膜工程でプリカーサを供給するために蒸発させる際に冷えてしまいます。用途によりますが、温度の低下は2℃以上にもなります。
その温度誤差が生産量の減少につながります。
アメリカCeeVeeTech社が開発したTemperature compensatorは、液体や固体のソースに直接挿入された精度の高い温度センサーで、測定された温度からガス流量や圧力信号を補正してプリカーサの供給量を一定にします。
これにより、歩留まり向上、コスト削減、ソース寿命の延長、安全性の向上に貢献します。

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MOCVD、CVD、ALD用プリカーサ安定供給ユニット
YG15 Temperature Compensator

YG15 Temperature Compensator

特長:

  • ●CVDやALDの液体あるいは固体プリカーサを60mKの分解能で温度測定
  • ●キャリアガスフローやアンプル/バブラーの圧力を調整して
    温度誤差を補う
  • ●濃度誤差を0.4%以下にキープ
  • ●複数個所で測定を行い、充填レベルの情報を提供
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YG45 Dry Safety Precursor Source

YG45 Dry Safety Precursor Source

特長:

  • ●供給ガス濃度の精度は0.4%以下
  • ●温度管理されたThermosによるバブラー/アンプルのドライ環境下
    での使用
  • ●Thermosは二次的格納容器の役割
  • ●液体冷却材が不要
  • ●信頼性の高い残容量測定
  • ●複数点によるソース温度測定
  • ●シングルバブラー – マルチプルラインモードが可能
  • ●最大直径200mm、長さ500mmのバブラーに対応
  • ●使用電力は200W未満
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