Single substrate processing sputtering

MODEL SMD-650C
MAKER ULVAC
VINTAGE 1997
QUANTITY 1
SPEC 550×670×0.7、1.1(mm)

※本装置は、ガラス基板にITO膜を作成するための
枚葉式スパッタ装置です。

※ITO-ITO-ITO
WORK SIZE
SIZE(mm)
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