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3965 1TA1-9140 STAGE DESTRIBUTION BOARD 2481-000002-12
117532 HP001-0713 Motor & Encoder Set R2AA06020FXW7FE
13894 JA045P-008 SERVO PACK SGDB-15ADPY65
40753 BG001-0075 基板 BG6-1302
13863 JA043P-009 SERVO PACK SGDA-A5APY38
37233 AT001-0130 SOLENOID VALVE 10-VZ3243
21580 B0246-15 VAC PAD 4K110-210AN
40752 BG001-0074 基板 BG6-3797
108414 GB001-0176 INPUT UNIT AX11
92476 190204-033 ISS SENSOR(DETECTOR) ISS SENSOR(DETECTOR)
92468 190204-025 G LINE FILTER G LINE FILTER
27178 9P-195 EXT-DC DIST BOARD A81-610290-11
2670 10-149 AFCTRL ST-6 4S017-845-C
2700 10-175-2 NK-DSP2 4S015-083-C
11885 BS0204P-059 SERVO PACK CPCR-PF02B-Y35
21416 B0246-4 VAC PAD 4K110-210AN
108416 GB001-0178 INPUT UNIT AX11
21557 B0246-10 VAC PAD 4K110-210AN
92454 190204-011 Stage Flat cable (L8) STAGE FLAT CABLE
92467 190204-024 INPUT LENS INPUT LENS
93048 DY001-0382 IoT状態監視アンプ E9NC-AA0V-1
11943 BS0204P-138 AC SERVO DRIVER KBLD120-C
11893 BS0204P-074 SERVO CONTROL UNIT HA-600-2
2707 10-182 OPERATION BOARD 4S017-822
118F 038 AC SERVO MOTOR WITH GEAR MSM012P27
13907 JA046P-002 SERVO PACK SGDA-01APPY70
103914 FD001-0116 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
11886 BS0204P-060 REGENERATIVE UNIT JUSP-RG08
12027 BS0533P-043 AC SERVO DRIVER KBLD180-C
13864 JA043P-011 SERVO PACK SGDB-15ADPY65
3776 1PR9-9127 CABLE CONNECTION BOARD 381-641731-1
12160F P031-02-1 AC SERVO MOTOR SGM-A8B314
117525 HP001-0706 AC servo driver PYRA015E0XXYP00
92470 190204-027 2 RELAY LENS 2 RELAY LENS
80102 CW001-4358 電動式ボールバルブ MHB4-15-25-AC100V
121F 040 AC SERVO MOTOR KBLM230GD-CM
37668 AS001-3358 AUTO SUPPLY ASSY(FIBER 1R86-409189-11
37670 AS001-3360 8749 CONNECTOR BRD10 381-640926-3
9326 AE003-0098 PHOTO ELECTRIC SENSOR E3Z-T61-J0SRD-P2
13893 JA045P-007 SERVO PACK SGDA-08APPY70
92469 190204-026 1 RELAY LENS 1 RELAY LENS
40295 BF001-0558 VALVE FUBVT-915-9.52
40750 BG001-0072 基板 BG6-1263
9314 AE003-0086 PHOTO ELECTRIC SWITCH E3T-FT22
13871 JA044P-005 SERVO PACK SGDA-01APPY70
12100F M03141-50 AC SERVO DRIVER DV80X180MB5A
3738 1PR9-9083 AIR OPERATED VALVE F-DAV250-0-13W
92466 190204-023 DICHROIC MIRROR(FRONT) DICHROIC MIRROR(FRONT)
103901 FD001-0103 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
92478 190204-035 ISS HIGH VOLTAGE ISS HIGH VOLTAGE
103905 FD001-0107 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
103906 FD001-0108 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
40302 BF001-0565 AIR OPERATED VALVE 6LV-DAS6M-C
108415 GB001-0177 INPUT UNIT AX11
113267 HK001-0190 INVERTER 3G3MX2-A2004-V1
108430 GB001-0192 Mount board unit FSB086H
103899 FD001-0101 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
92461 190204-018 STAGE Z UNIT STAGE Z UNIT
92477 190204-034 TARGET HALF MIRROR TARGET HALF MIRROR
103900 FD001-0102 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
108413 GB001-0175 INPUT UNIT AX11
9313 AE003-0085 PROXIMITY SWITCH E2CY-T11
12013 BS0533P-029 AC SERVO AMPLIFIER MR-J20B
12091F M028-034 5-PHASE DRIVER UDX5107-G4-1
103898 FD001-0100 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
92460 190204-017 STAGE T UNIT STAGE T UNIT
113268 HK001-0191 INVERTER 3G3MX2-A2004-V1
13865 JA043P-012 REGENERATIVE UNIT JUSP-RG08C
37664 AS001-3354 8749コネクターBOD3#1 381-643223-2
11881 BS0204P-055 SERVO PACK SGD-04AP
9321 AE003-0093 FIBER SENSOR AMPLIFIER E3X-DA6-S
108428 GB001-0190 Digital output module FTU266B
9318 AE003-0090 PROXIMITY SWITCH E2E-X5ME2
103912 FD001-0114 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
13892 JA045P-006 SERVO PACK SGDM-A5ADAY382
103913 FD001-0115 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
103897 FD001-0099 RETICLE CASE 透明ピン無27MM
108409 GB001-0171 INPUT UNIT AX11
13891 JA045P-005 SERVO PACK SGDA-A5APY38
108410 GB001-0172 INPUT UNIT AX11
92464 190204-021 LCD MONITOR P1700
92474 190204-031 CONDENSOR LENS CONDENSOR LENS
9332 AE003-0104 PROXIMITY SWITCH E2F-X10E2
13486 JA025P-001 AC SERVO DRIVER R88D-MT20
13853 JA042P-013 REGENERATIVE UNIT JUSP-RG08C
13488 JA025P-003 AC SERVO DRIVER R88D-UP08HA
80086 CW001-4342 VALVE 3GA110R-C4-E2-3
108408 GB001-0170 INPUT UNIT AX11
11887 BS0204P-061 SERVO PACK SGD-02AP
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