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92378 190203-108 UV LAMP CONTROLLER UU-0045-A
92348 190203-078 Sub pneumatics SUB PNEUMATICS
50802 CO001-0160 PRESSURE SENSOR AP-31A
21883 P0012-0365 LASER SENSOR HEAD LV-H47
92372 190203-102 セパレータ フラットタイプ Y組品 KLB02610 A08Y-1
21847 P0012-0256 FIBER SENSOR AMPLIFIER FS-V21R
92369 190203-099 LDZ UNIT LDZ UNIT
21845 P0012-0254 SENSOR FU-2138
21841 P0012-0235 FIBER SENSOR UNIT FU-38V
92377 190203-107 シャッター ユニット シャッター ユニット
92351 190203-081 Display panel DISPLAY PANEL
106416 FM001-0600 TEMPERATURE CONTROLLER CB103 FD05-V*APD-NN/A ZK-1056 Z-1027
22740 P9024-0039 AREA SENSOR SL-C16F(T)
73292 CK003-0244 CS800 OPE PANE CONN BOARD 1R81-604731-14
5765 4PS7-0074 空圧用マルチコネクタ DM12P-04NU-C1
92374 190203-104 アイアンラバーベルト 4B039-503AN
92357 190203-087 SERVO MOTOR UGQMEM-04MNQ13
92376 190203-106 フレキシブルフラットケーブル 4S031-810AN
92375 190203-105 Reticle table drive motor 4S999-188
110595 HA001-0100 earth leakage breaker EA52B
110594 HA001-0099 Circuit breaker NE52C
110588 HA001-0093 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-20B
110592 HA001-0097 Circuit breaker NE53C
110593 HA001-0098 Circuit breaker NE52C
21898 P0012-0420 MICRO SWITCH AV3252-A
92353 190203-083 SUB chamber temp sensor (L8) SUB CHAMBER TEMP SENSOR
110586 HA001-0091 AC propeller fan MU1238B-12B
24008 S0012-012 真空ファイバセンサ FVR7760B
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