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96359 P0012-0152-02 SOLENOID VALVE SY5220-5MZ-C6
77338 CW001-1594 断線警報器 K8AC-H23CC-FLK
117577 HR001-0003 CHAMBER INTERFACE BD 0190-35207 REVP1
77324 CW001-1580 断線警報器 K8AC-H23CC-FLK
104515 FP001-0114 CC Monitor DTY-CMH-01
102378 ER001-1234 LCD EIMC CONN BOARD 1R81-603248-11
117560 HQ001-0015 CRYO PUMP CRYO-U26H
112677 HD001-1022 RIGHT-LID 0040-07390-003
104518 FP001-0117 CC Monitor DTY-CMH-01
5220 4PD1-9088 MAGNETIC CONTACTOR 1R80-100254-11
17942 L0240-003 PC IPC-610BPFM
103402 EX001-0007 DIGITAL INDICATING CONTROLLER UT32A-010-00-00
117366 HP001-0547 ZK2 Vacuum Unit ZK2A12K5FL-06
117561 HQ001-0016 CRYO PUMP CRYO-U16P
117569 HQ001-0024 CRYO PUMP COMPRESSOR C30V
5214 4PD1-9081 プ-リ-(B) 1R02-400204-12
102080 ER001-0837 VACUUM GAUGE CMB16PM1
96370 P0005-1095-01 precision pressure reducing valve AP1006SM 2PW FV6 FV6 HF
117562 HQ001-0017 CRYO PUMP CRYO-U16P
117473 HP001-0654 Rotary Encoder 4S554-002AN
102163 ER001-1019 THERMOCOUPLE MEASUREMENT BULB TG-550C
96367 P0012-0225-01 AIR OPERATED VALVE VLD4CS-VFC-STD-316L
117469 HP001-0650 CCD camera head 4L990-008AN
80115 CW001-4371 非常停止スイッチ HW1B-V301R
80209 CW001-4465 エア表示灯 VR3100-01R
117470 HP001-0651 CCD camera head 4L990-008AN
102239 ER001-1095 THERMOCOUPLE MEASUREMENT BULB TG-550B
80113 CW001-4369 非常停止スイッチ HW1B-V301R
117559 HQ001-0014 CRYO PUMP CRYO-U26H
80112 CW001-4368 非常停止スイッチ HW1B-V301R
6750 9919-9015 SWITCH FHM-3
68628 BV001-12760 触覚スイッチ D5B-1533
57130 BV001-01256 I/O DUMMY MODULE EH-DUM
96369 P0012-0225-03 AIR OPERATED VALVE VLD4CS-VC-STD-316L
101734 ER001-0491 OXYGEN ANALYZER LC-450D
80114 CW001-4370 非常停止スイッチ HW1B-V301R
87087 DQ001-0152 SERVO PACK SGDA-04AP
52133 CO001-1491 STEPPING MOTOR PK545AWM
117572 HQ001-0027 CRYO PUMP COMPRESSOR C30V
117475 HP001-0656 Mycalex 4K680-193-2AN
102374 ER001-1230 SPC CONN BOARD 1R81-603243-13
117571 HQ001-0026 CRYO PUMP COMPRESSOR C30V
52139 CO001-1497 STEPPING MOTOR PK564-NA
117468 HP001-0649 Main shutter motor 4B990-515AN
16879 JA508P-079 VALVE A1355WVM
101363 ER001-0120 回転ステージ ARS-4036-GM
57152 BV001-01278 UNI-WIRE INTERFACE MODULE EH-UNW
52141 CO001-1499 STEPPING MOTOR PK566BE-N5
52131 CO001-1489 STEPPING MOTOR PK545AWM
52134 CO001-1492 STEPPING MOTOR PK545AWM
96173 AU006-005 PARTICLE COUNTER KC-03A1
117558 HQ001-0013 CRYO PUMP CRYO-U26H
16880 JA508P-080 ヒーターコントローラ IVBH-C014
117367 HP001-0548 ZK2 Vacuum Unit ZK2A12K5FL-06
102223 ER001-1079 VACUUM GAUGE CMB16PM1
96368 P0012-0225-02 AIR OPERATED VALVE VLD4CS-VC-STD-316L
107287 FO001-0123 ヒーター断線警報器 K2CU-F20A-EGS
52135 CO001-1493 STEPPING MOTOR PK545-B
52129 CO001-1487 STEPPING MOTOR PK545AWM
117368 HP001-0549 ZK2 Vacuum Unit ZK2A12K5FL-06
101733 ER001-0490 OXYGEN ANALYZER LC-450D
80110 CW001-4366 非常停止スイッチ HW1B-V301R
102235 ER001-1091 PIRANI GAUGE SENSOR UNIT SP1
6617 9915-9001-2 SWITCH 1834-3302
57190 BV001-01316 AC SERVO DRIVER R88D-MT20
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