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92461 190204-018 STAGE Z UNIT STAGE Z UNIT
12007 BS0533P-021 CPU UNIT A171SCPU
77175 CW001-1431 POSITIONING UNIT QD75MH4
32835 AR001-1854 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
9246 AE003-0018 FIBER SENSOR AMPLIFIER E3X-NA11F
11967 BS0204P-165 DC INPUT MODULE JW-32N
5178F M02762-01 INVERTER FVR1.5C11S-2
92474 190204-031 CONDENSOR LENS CONDENSOR LENS
11971F CA0303P-007-1 CPU UNIT A3NCPU
92464 190204-021 LCD MONITOR P1700
37714 M002-037-2 FIBER SENSOR FD-FM2
32841 AR001-1860 C CONTROLLER Q12DCCPU-V
39789 BF001-0052 5-PHASE DRIVER UDK5107N
39807 BF001-0070 STEPPING MOTOR&DRIVER SET UPK569-NBC
39818 BF001-0081 5-PHASE DRIVER RKD514L-A
89154 DQ001-2219 OUTPUT UNIT QY42P
11969 BS0204P-167 I/O BUS EXTENSION ADAPTER JW-2EA
92475 190204-032 LAMP TARGET LAMP TARGET
92455 190204-012 INTERFEROMETER RECIVER SET(L7) INTERFEROMETER RECIVER SET(L7)
37728 AZ001-0021 D/A UNIT CQM1-IPS01
37729 AZ001-0022 D/A UNIT CQM1-IPS01
92473 190204-030 MAIN SHUTTER MAIN SHUTTER
36203 AS001-2310 C/S STAGE A_BOARD 1R81-603434-12
32836 AR001-1855 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
11968F CA0303P-006-1 OUTPUT UNIT AY51
92457 190204-014 CCD XC-ES50
36220 AS001-2327 L6-ST-ADJUST 4S007-707
103658 EW001-0202 STEP MOTOR DRIVER SR4-PLUS-4696351001299
103789 EW001-0333 INVERTER FR-E520-5.5KN
89120 DQ001-2185 OUTPUT UNIT A1SY41
3281 130804-1-012 OUTPUT UNIT AY10
104408 FP001-0007 PRESSURE SENSOR ZSE30A-C4L-C-MGA3
5196F M028-049 INVERTER FR-A024-0.2K
92343 190203-073 LAMP STARTER LAMP STARTER
89155 DQ001-2220 OUTPUT UNIT QY42P
39785 BF001-0048 5-PHASE DRIVER UDK5107N
3772 1PR9-9120 タワーランプ 12V 0.11A
31955 AR001-0974 MOTION CONTROLLER Q173DCPU
11955F CA0302P-006-1 OUTPUT UNIT AY51
92338 190203-068 PACK DRIVER AK-BX561
89117 DQ001-2182 OUTPUT UNIT A1SY42P
12004F CA0314P-004-2 I/O UNIT C200H-MD115
89115 DQ001-2180 OUTPUT UNIT A1SY42P
36217 AS001-2324 MAIN-IF 4S007-715
27636 M008-014-5 INVERTER 3G3EV-A2001M
12006F CA0318P-004-1 INPUT UNIT AX42
88806 DQ001-1871 INPUT UNIT A1SX42
89159 DQ001-2224 OUTPUT UNIT QY41P
37719 AZ001-0012 OUTPUT UNIT CQM1-OC221
36222 AS001-2329 L4-AF 4S007-527
95517 EC001-0212 CS600 MJ CONN BOARD 1R81-604531-14
11969F CA0303P-006-2 OUTPUT UNIT AY42
12008 BS0533P-022 BASE UNIT A172B
11962 BS0204P-160 DC INPUT UNIT JW-212N
3195 1221-9009 SOLENOID VALVE VXD2130
37723 AZ001-0016 D/A UNIT CQM1-IPS01
32812 AR001-1831 I/O UNIT QH42P
7715F M113-005 DC POWER SUPPLY EWS100-5
37718 AZ001-0011 PLC・タッチパネル接続用ケーブル GP430-IP10-O
11963 BS0204P-161 DC INPUT UNIT JW-214N
27635 M008-014-4 INVERTER 3G3EV-A2001M
7720F M113-010 DC POWER SUPPLY RM05-15RGB
39810 BF001-0073 AC SERVO DRIVER KBLD60-C
54724 CO001-4082 INVERTER CIMR-V7AA20P7
77188 CW001-1444 BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER BLED6C
89173 DQ001-2238 A/D CONVERTER UNIT A1S64AD
36219 AS001-2326 L6-ST-ADJUST 4S007-707
12009F CA0318P-004-4 BASE UNIT A65B
36207 AS001-2314 CS500 I/F ARM A_BOARD 1R81-604551-15
12006 BS0533P-020 INPUT UNIT A1SX40
11961F CA0302P-007-4 OUTPUT UNIT AY42
36209 AS001-2316 LCD COAT USER BOARD 1R81-606384-14
27641 P8001-156 PRESSURE SWITCH MIVI-B-S-35K・A-ANE5-4
11961 BS0204P-159 リレー出力ユニット JW-214S
92342 190203-072 Main pneumatics MAIN PNEUMATICS
89153 DQ001-2218 OUTPUT UNIT A1SY18A
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