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7348 9P-097 TSBC-BUS-I/F-C A81-510233-F3
41474 BG002-0310 TEMP MONITOR 0100-66002 REV E4
39966 BF001-0229 DRIVEPACK SERVO UNIT SGDC-30ARA
5466 4PR4-0012 CONTROL BOARD 1R81-603529-13
2620 10-107 L5D-UPPER 4S007-612-S
41475 BG002-0311 EXHAUST SWITCHING 0100-66014 REV E2
5463 4PR4-0009 LCD SPIN UNIT CONN BOARD4 F61R81-601544-15
7413 9P-192 UIFC CONN BRD 1A81-010400-1
39939 BF001-0202 SERVO AMPLIFIER MODULE A06B-6079-H201
58697 BV001-02823 DRIVER MSD153A1V
55221 CO001-4579 CONV. I/F BRD A81-610070-1D
41464 BG002-0300 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01513
58621 BV001-02747 REGENERATIVE UNIT R88A-RG08UA
58698 BV001-02824 DRIVER MSD153A1V
58626 BV001-02752 5-PHASE DRIVER UDX5114-G4-2
40338 BF001-0601 入力用PLCコネクタ UC-32Ⅱ SMI
39955 BF001-0218 STEPPING MOTOR PK596-NAC
5538 4PS5-0040 L6LCCTRL BOARD 4S007-720-H LC-2
55244 CO001-4602 UT-AFC-01 H1004226001A
58655 BV001-02781 STEPPING MOTOR PK569AW
39947 BF001-0210 AC SERVO DRIVER ABEDUO-460
77885 CW001-2141 INVERTER 3G3JX-A2004
41473 BG002-0309 ANALOG INPUT BOARD 0660-01514
39889 BF001-0152 STEPPING MOTOR PK596AW
41466 BG002-0302 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01513
7414 9P-193 UIFC CONN BRD 1A81-010400-1
2629 10-117 LIA-I/F3 PA 4S007-583-B
77887 CW001-2143 INVERTER 3G3MX2-A2075
23001 P9041-0004 AC SERVO DRIVER ABEDUO-435
77884 CW001-2140 INVERTER 3G3JX-A2004
58620 BV001-02746 REGENERATIVE UNIT R88A-RG08UA
55243 CO001-4601 USB CONN BOARD-R 1A81-030007-11
5151 4PD1-9009 BOARD GUIDE 1R10-403847-11
41468 BG002-0304 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01515
39890 BF001-0153 STEPPING MOTOR PK596AHWM
5467 4PR4-0013 DP UNIT CONN BOARD 1R81-605283-15
79999 CW001-4255 AC SERVO AMPLIFIER MR-J3-10B(GA)
55220 CO001-4578 AC POW FAIL DET BRDⅡ 881-621140-1A
5539 4PS5-0041 基板 4S015-001-2
5537 4PS5-0039 L6LCCTRL BOARD 4S008-635-B LC-2
2608 10-095 L4-VFDRV 4S017-617-C
42570 BJ001-0561 INPUT UNIT QX42
5468 4PR4-0014 CS501CT/ER UNIT CONN BOARD 1R81-605300-16
5465 4PR4-0011 CS600 C/S A BOARD 1R81-603016-16
2628 10-116 JPMTH 4S017-784-A
77496 CW001-1752 SERVO PACK SGDV-R70A11A
39891 BF001-0154 STEPPING MOTOR PK596BU-PG36
39882 BF001-0145 STEPPING MOTOR PK569BE
39948 BF001-0211 AC SERVO DRIVER ABEDUO-435
42573 BJ001-0564 INPUT UNIT QX42
8003 AA002-0470 AC SERVO DRIVER MDDDT5540
41471 BG002-0307 ANALOG OUTPUT BOARD 0660-01515
41476 BG002-0312 TEMP MONITOR 0100-66002 REV E4
41443 BG002-0279 FACTORY AUTOMATIOM/LOADLOCK DISTRIBUTION 0100-66000
65891 BV001-10023 OUTPUT UNIT QY42P
5586 4PS5-0096 BCR-LED BOARD 4S007-013
80051 CW001-4307 AC SERVO MOTOR HF-KP13BG1
55242 CO001-4600 UNIT I/F-E BOARD B 1A81-010592-B3
5542 4PS5-0047 LINK-PHOT BOARD 4S017-737-T-1
7415 9P-194 TSBC-BUS-I/F-C A81-510232-F2
2621 10-108 BL-Y-MTR 4S007-593-A
23011 P9043-0004 AC SERVO DRIVER ABEDUO-435
40339 BF001-0602 入力用PLCコネクタ UC-32Ⅱ SMI
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