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アメリカ Neocera社は薄膜形成のためのPLD/PED装置及び超電導磁気センサーを搭載した半導体デバイスの故障解析装置を提供しております。

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PLD(パルスレーザー堆積法)装置 / Pioneer 120 PLD System

YG15 Temperature Compensator

特長:

  • ●PLD(Pulsed Laser Deposition)
    パルスレーザー堆積法により多用途の薄膜を形成することが可能です。
  • ●パルスレーザー(<20nsのパルス幅)
    により素早く目的の物質を蒸発させ、その組成を維持したまま薄膜の形成が可能です。
  • ●Pioneer 120 PLD System
    は標準的な装置で基板サイズが直径1inchと2inch対応で導電ヒーターにより950℃まで基板を加熱することが可能です。
PLD製品一覧
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Pioneer 120 PLD System
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PED(パルス電子堆積法)装置 / Pioneer 180 PED System

YG45 Dry Safety Precursor Source

特長:

  • ●PED(Pulsed Electron Deposition)
    パルス電子堆積法はPLD同様種々のデバイスに対して複雑な物性の薄膜形成が可能です。
  • ●高エネルギーのパルス電子ビーム
    (80-100nsのパルス幅、<1000A,15kV)により目的物質を素早く蒸発させることが可能で、全固体物質の成膜が可能です。
  • ●Pioneer 180 PED System
    基板サイズが直径10mmから2inch対応で放射加熱により850℃まで基盤を加熱することが可能です。
PED製品
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Pioneer 180 PED System
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<In situ Real-time Process Diagnostics Tools>

Neocera社はPLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでのプロセスモニタリングのため、3つの診断ツールを提供します。

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High-Pressure Reflection High-Energy Electron Diffraction(RHEED)
高圧反射高エネルギー電子回折

High-Pressure Reflection High-Energy Electron Diffraction(RHEED)高圧反射高エネルギー電子回折

特長:

  • ●振動強度と回折による構造データから薄膜成長を調節します。
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Low Angle X-ray Spectroscopy(LAXS)低角度X線分光法

Low Angle X-ray Spectroscopy(LAXS)低角度X線分光法

特長:

  • ●RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの薄膜組成の情報を得ることができます。
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Ion Energy Spectroscopy(IES)イオンエネルギー分光法

Ion Energy Spectroscopy(IES)イオンエネルギー分光法

特長:

  • ●プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と界面の情報を得ることができます。
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故障解析用検査装置 / Magma EFI HiRes

故障解析用検査装置 / Magma EFI HiRes

特長:

  • ●超電導磁気センサー(SQUID)
    を搭載し、極めて高い感度で種々のデバイスのどのような静的欠陥も見つけ出すことが可能です。
  • ●サンプル表面から電流経路をたどることで3次元構造上の欠陥の位置を特定することが可能なソフトウェアを有しています。
故障解析用装置
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Magma EFI HiRes
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