SENTECH

ドイツ SENTECH Instruments社は、1990年に設立され、クオリティーの高いプラズマエッチングシステム、PECVD、ALD、薄膜測定装置を研究開発及び製造現場にワールドワイドで販売する装置メーカーです。
納入後も高いアプリケーション能力でサポートしております。

メーカーサイトへ

ICP-RIE SI 500

ICP-RIE  SI 500

特長:

  • ●独自のPTSA200ICPソースによる1012ions/㎤の高いプラズマ密度により高エッチレートを実現。
  • ●ICPパワーによるイオン密度の制御
  • ●バイアスパワーによるイオンエネルギーの制御
  • ●ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供給の最適化
  • ●低ダメージエッチング
  • ●高選択性エッチング
メーカー製品サイトへ

ICPECVD SI 500 D

ICPECVD SI 500 D

特長:

  • ●独自のPTSA200ICPソースによる1012ions/㎤の高いプラズマ密度により
    -低温成膜
    -低ダメージ
    -高コンフォマリティーを実現。
  • ●ICPパワーによるイオン密度の制御
  • ●オプションのバイアスパワーによるイオンエネルギーの制御
  • ●リアクター圧力、分離されたガス供給ラインとICPソースと基板電極間の間隔調整によるプロセスの最適化
メーカー製品サイトへ

レーザーエンドポイントモニター LSI670

レーザーエンドポイントモニタ LSI670 レーザー干渉計

SENTECH社のプラズマ装置用エンドポイントモニターは、プラズマ装置の上部の窓からレーザービームを照射しサンプルからの反射光を測定し膜厚を測定。
透過膜のエッチングや成膜のIn-situでの膜厚モニターに最適。

特長:

  • ●波長:670/980nm
  • ●スポットサイズ:100μm
  • ●モーター駆動ステージ
  • ●反射率、干渉モード

クラスターツール 3 ICP + 2 cassette モジュール

クラスターツール 3 ICP + 2 cassette モジュール

搭載可能モジュール

  • ●SI 500-1M ICP-RIEモジュール
  • ●SI 500 D-1M ICPECVDモジュール
  • ●SI 500 RIE-1M RIEモジュール
  • ●SI 500 PPD-1M PECVDモジュール
  • ●SI ALD-1M ALDモジュール

搬送チャンバー

  • ●3ポート
  • ●4ポート
  • ●6ポート
メーカー製品サイトへ
PAGE top