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35891 AS001-1998 5-PHASE STEPPING MOTOR A4934-9415KPGE
15098 JA142P-002 CPU UNIT A2USHCPU-S1
6987 9925-9006 電力基板 VT240P用電力基板
69964 BV004-0261 TVB6003-1/EIMC2 1R81-606488-13
50762 CO001-0120 PIRANI GAUGE SENSOR UNIT SP1
98796 EI001-0110 Position Control Unit C200H-NC211
35892 AS001-1999 5-PHASE STEPPING MOTOR A4934-9415KPGE
98798 EI001-0112 Position Control Unit C200H-NC211
7593F M103-012 TORQUE MOTOR 4TK10GN-A
108459 GB001-0221 I/O UNIT A0J2-E56DT
59634 BV001-03760 PIRANI GAUGE SENSOR HEAD WP-01
15109 JA143P-002 CPU UNIT A2USHCPU-S1
98820 EI001-0134 HOST LINK UNIT C200H-LK202
7577F M102-039 5-phase stepping motor set UPD534M-B
7564F M102-020 SERVO PACK SGDA-01BP
35906 AS001-2013 AC SERVO AMPLIFIER MR-J2-200A-XA59
69726 BV004-0023 露光機、静電、中継基板 露光機、静電、中継基板
108461 GB001-0223 OUTPUT UNIT AY41
98803 EI001-0117 Position Control Unit C200H-NC211
7565F M102-021 SERVO PACK SGD-02BPY16
108912 GF001-0072 BATTERY UNIT MR-J3BAT
108466 GB001-0228 BASE UNIT A35B
98804 EI001-0118 Position Control Unit C200H-NC211
69717 BV004-0014 P-ON BOARD 7VC12273
14935 JA134P-010 DATA LINK UNIT A1SJ71AR21
108961 GM001-0039 SPEED CONTROLLER MSP-2W
7585F M103-002 Warm geared speed control motor 5IK60RCFP-25RA
108467 GB001-0229 BASE UNIT A35B
7594F M103-013 INDUCTION MOTOR 3IK15GN-A
69958 BV004-0255 TVB-SPC2 1R81-606381-11
14936 JA134P-011 ENCODER UNIT A171SENC
69718 BV004-0015 P-ON BOARD 7VC12273
35893 AS001-2000 5-PHASE STEPPING MOTOR A4934-9415KPGE
7587F M103-005 REVERSIBLE MOTOR 5RK40GN-A
7592F M103-011 AC SERVO MOTOR SGM-01B314
69829 BV004-0126 I/F Buffer部中継基板 I/F BUFFER部中継基板
14934 JA134P-009 RS-232-C UNIT A1SJ71UC24-R2
35904 AS001-2011 AC SERVO AMPLIFIER MR-J2S-200A-EG011
14933 JA134P-008 I/O UNIT A1SH42
35903 AS001-2010 AC SERVO AMPLIFIER MR-J2S-200A-EG011
108908 GF001-0068 BATTERY UNIT MR-J3BAT
108960 GM001-0038 SPEED CONTROLLER MSP-2W
35748 M029-015-5 DC INPUT UNIT JW-212N
14961 JA134P-038 OUTPUT MODULE A03B-0807-C155
108911 GF001-0071 BATTERY UNIT MR-J3BAT
69716 BV004-0013 P-ON BOARD 7VC12273
5447 4PR1-9112 M/A VOLT SINK2 ASSY 1R86-404041-11
24050 B0080-2 GEARED MOTOR 4RK25RGN-C
24085 S0021-003 STEPPING MOTOR&DRIVER SET CSK545-NAP
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