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28474 JM001P-0031 CPU UNIT Q12HCPU
77963 CW001-2219 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
56184 BV001-00308 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-16T
77953 CW001-2209 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
28467 M028-010-2 DC INPUT UNIT JW-214N
69593 BV002-0246 CCD XC-ES50
28482 JM004P-0127-01 TRANSISTOR INVERTER VFS11-2007PM-AN(3)
28475 JM001P-0038 OUTPUT UNIT QY70
7796 AA002-0259 AC SERVO DRIVER MDDDT5540
25489 AH501-0299 I/O UNIT AH42
56201 BV001-00325 I/O TERMINAL NR1SY-1606DT
28438 4WB1-9030 PRESSURE GAUGE AT1/4 60X0.5MPA
69268 BV001-13400 SUB CONN-A BOARD 1A08-010660-13
25492 AH501-0302 I/O UNIT AH42
30509 AQ001-1167 A/D CONVERTER UNIT A1S68AD
25488 AH501-0298 I/O UNIT AH42
77971 CW001-2227 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
25486 AH501-0296 I/O UNIT AH42
2849 110925-115 SENSOR OP-26482
28497 M036-008-4 TERMINAL CONVERSION UNIT ZW-16S1
28506 M036-010-3 DC OUTPUT MODULE JW-212SA
28469 M036-008-2 TERMINAL CONVERSION UNIT ZW-16S1
56197 BV001-00321 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-32T
561F 208 OUTPUT UNIT AY42
69260 BV001-13392 L-DIO32 I/F BOARD 1A81-010390-D1
56200 BV001-00324 I/O TERMINAL NR1SY-1606DT
56194 BV001-00318 OUTPUT UNIT AJ65SBTB1-32T
56199 BV001-00323 I/O TERMINAL NR1SY-1606DT
6959F M045-004 I/O BUS EXTENSION ADAPTER JW-1EA
77969 CW001-2225 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
25493 AH501-0303 I/O UNIT AH42
284F 102 INPUT UNIT QX41
69588 BV002-0241 Reticle alignment Y-halving unit (L8) RETICLE ALIGNMENT Y-HALVING UNIT
28445 AE002-0075 INVERTER FR-E520S-0.1K
69269 BV001-13401 SUB CONN-A BOARD 1A08-010660-13
77966 CW001-2222 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
28502 M2154-018 INPUT UNIT A1SX41-S2
77964 CW001-2220 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
77960 CW001-2216 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
69581 BV002-0234 Stage center up pin L8 730X920
77959 CW001-2215 DIGITAL I/O UNIT GT1-OD32ML
77662 CW001-1918 SERVO PACK SGDV-1R6A01A
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