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scia Systems

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scia Systems - ナノから無限へ
ドイツのケムニッツに拠点を置くscia Systems社は高度なイオンビームとプラズマ技術による超精密表面処理用のハイエンド装置の開発・製造を行っているメーカーです。ナノメートル精度でのコーティング、エッチング、洗浄が可能な各種装置をラインナップしております。
scia Systems社はナノメートルスケールでの完璧さを体現しています。2013年の設立以来、当社は薄膜プロセス技術におけるリーディングカンパニーとしての地位を確立しており、当社の装置は産業及び研究の特定にニーズに合わせてカスタマイズされ、その信頼性、柔軟性、そして性能で知られています。

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製品

scia Systems社はお客様がユニークな機能特性を備えた新しく革新的な製品を設計できるよう、幅広いイオンビーム及びプラズマプロセス装置をご提供いたします。当社の装置はマイクロエレクトロニクス、MEMS、精密光学系分野など、世界中の様々なハイテク産業で導入されご好評いただいております。
 

  • scia Trim 200 (Link)
  • scia Mill 200 (Link)
  • scia Coat 200 (Link)
  • scia Magna series (Link)
  • scia Eva 200 (Link

 
スタンドアローン装置に加え、scia Systems社ではカスタマイズされたクラスター装置もご提供しております。scia Clusterの優れた柔軟性により、複数のチャンバーを1つのプロセス専用として最高のスループットを実現するか、異なるプロセス技術を組み合わせプロセス開発や研究開発において最大の柔軟性を実現するかを選択することが可能です。
 

  • scia Cluster 200 (Link

特長

  • コンパクトでモジュール化されたシステム設計によるカスタマイズされたプロセスソリューション
  • 最高の精度かつ最高のスループット
  • 当社独自の技術およびプロセス開発
  • グローバルな販売・サービスネットワーク
  • scia Systems社独自で開発・製造された主要コンポーネント
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アプリケーション

  • 電子機器製造

    MEMS用コーティング|エッチング|洗浄( Link
  • イオンビーム、プラスマ技術による光学産業へのソリューション (Link

  • センサーやその他の分野でのアプリケーションノート(Link)  

 

技術

  •  イオンビームエッチング(Link
  •  イオンビームトリミングッチング(Link
  • イオンビームスパッタリング(Link
  • マグネトロンスパッタリング(Link
  • 電子ビーム蒸着(Link
  • ドライ洗浄(Link
  • PECVD/RIE(Link

 
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提携企業一覧